SJT 31110-1994 AMV－1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法
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ID： |
EC5884837DF348859CCC087229988F91 |
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文件大小(MB)： |
0.3 |
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页数： |
3 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,amv—1284型硅外延炉完好要求和,SJ/T 31110-94,检査评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了 AMV—1284型硅外延炉的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于AMV—1284型和类似结构的其它型号的硅外延炉,2完好要求,2.1 主要技术性能,2.1.1 硅外延炉应能精确控制各种参数。在将硅片化合物引入反应时,必须严格控制温度分,布、携带气流、杂质,气流和浓度应达到规定要求,2.1.2 温度控制、杂质控制、流程时间的参数要求为:,a.工作温度:650.:1250c,控温精度±3℃；,b.乩加压泄漏率:V8.91Pa/min；,c.各高低速精密流量计的气体流量精度:总士 2%；,2.1.3 硅片外延加工尺寸规定范围为:MOOmm为5片冲76mm为8片,2.1.4 外延层厚度均匀性为10%,外延层电阻率均匀性为10%,2.2 加热源及温度控制装置,2.2.1 感应加热装置（高频炉）、射频发生器等加热源,应严格按设备技术规定要求检测。为保,证温度均匀性,电源必须高度稳定,2.2.2 用自动温控器控制温度精度时,传感器应灵敏可靠,2.3 反应器（硅片外延生长室）,2.3.1 设备工作时,双向反应器,允许ー个反应器处于冷却重新装片状态,另ー个则处于工作,状态,2.3.2 反应器所用石英钟罩为气缸驱动升降（气源可用氮气）,升降、导向、限位、复位机构动,作平稳,应准确可靠,2.3.3 钟罩内压カ为常压,应根据工艺技术要求,控制温度、气体比例正常输入,确保冷却及,安全,2. 3.4基座转动平稳,无冲击、无抖动。转速在10.20r/min范围内可调,2 . 3.5不锈钢盘无锈蚀,密封槽无损伤,2 .3.6 。型圈密封良好,凡泄漏量小于lOOPPm,2.4 气体输供系统,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,一 1 —,下载,SJ/T 31110-94,2.4.1 外延所需要的气体,应按比例混合输入反应器,要求自动流量控制器、各管路接头阀,门、流量计供气系统密封良好,气体不得泄漏;必须安全可靠,2.4.2 反应器内如出现故障,供气应自动开闭;停水时应能自动切断射频电源;在排除其它气,体后充进氮气作保护,2.5 主控柜,主控柜对电、温度、气体流量的控制,用程序逻辑控制器贮存6个程序、共99个步骤,对自动,控制温度温差及气体自动流量比例、流量精度选择,设定数值的每个程序均可操作对应的按钮,调出显示,且应准确可靠,2.6 冷却系统,2. 6.1高频感应加热源（高频炉）冷却水温最高不得超过32c,最低不得低于21C。进ロ压カ,最高为〇. 63MPa,最低不得低于0. 22Mpa,2.6.2 反应器线圈及钟罩法等也均匀为水冷却,其水温最高不超过27C/最低不得低于21C；,进水压カ最高为〇. 56MPa,最低不得低于0. 35MPa,2.6.3 反应器石英钟罩及装片等所需风冷也均应按设备规定要求,确保设备冷却良好,2.y操作系统,2.7.1 各操作、开关、按钮启动灵活,定位可靠,标志齐全,2.7.2 制动、限位装置齐全,灵敏可靠,2.8 传动系统,设备运动平稳,无冲击、无振动、钟罩升降复位准确安全可靠,2.9 气路系统,2.9.1 各气动元件动作,灵敏可靠,阀及管道联接密封良好不得泄漏,必须按规范正确使用气,体,2.9.2 各仪表齐全、灵敏,指示准确、可靠,有有效期内校验合格证,2.10 电气系统,2.10.1 电气性能良好,运行可靠,保护装置齐全有效,2.10.2 线路完整,绝缘层无老化破裂,无漏电现象,2.10.3 高频传输线无漏电、无打火,2.11 程序逻辑控制器,2.11.1 控制器各部分功能齐全,性能稳定,2.11.2 内部清洁,各线路标志明显,2.12 安全防护,2.12.1 各安全防护装置齐全、可靠,2.12.2 接地可靠,标志明显,2.12.3 出现停水、停电故障时,报警装置报警准确可靠,2.12.4 做好气体泄漏等防范措施,确保安全,2.12.5 做好防高频泄漏措施,2.12.6 设备,且岀现故障或错误时,对错误区域报警指示显示,正确装置可靠,2.13 维护保养,2.13.1 设备内外清洁,无锈蚀,无异味,2 —,SJ/T 31110-94,2.13 . 2设备岀现故障及时修理,不得带病工作,做好维修记录,定期检査,其它按SJ/T,31002—94《设备维护保养通则》执行,2.14 设备环境要求,设备应安装在恒温超净房间,通风排放良好,室内温度不得高于26C,超净净化标准为千,级。通风及气体排放均应符环境保护要求,必须有良好的环保措施,3检查、评定方法,3.1 检查方法,3.1.1 工作温度检查方法,设定从650.1250 c其间任一温度,用数字式光学高温计测量基座温度,实测温度与设定,温度之偏离不大于±3C。连续观测3min,同一被测圆周上的温度起伏不大于±3C,3.1.2 气体流量检査方法,改变所检查气体的设定旋钮,观察质量流量显示器读数变化,当设定确定后,数字显示保,持稳定,3.1.3 H2浓度检査方法,在控制柜内和反应柜内分别慢放H?同时用乩检漏仪测定该区域内乩含量,记录报警和,停炉时的Hユ浓度,3.1.4 外延厚度均匀性检测方法,用膜厚测试仪检测外延厚度均匀性。片内均匀性;,最大值ー最小值,最大值+最小值X 100% ⑴,3.1.5 外延电阻率均匀性检査方法,用四探针测试仪检测外延层电阻均匀性,3.2 评定方法,3. 2.1 完好要求中,2.1各项要求和2. 2. 2.2. 3. 2、2.……
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